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该设备由原子气产生、气相凝聚、束流引出聚焦、质量选择、束流沉积等系统组成。通过“气相凝聚+质量分选”的技术路径获得原子数精确的原子团簇束流，可以实现原子团簇表面沉积和材料制造。

团簇束流设备

质量选择

质量选择

团簇束流设备

案例展示

原子数选择金团簇沉积

结构调控金团簇沉积

731-1

Au923

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