描述
团簇束流
公司简介

深圳扩维原子科技有限公司由北京中关村科学城建设股份有限公司与英国伯明翰大学等国际知名研发团队共同创立,致力于推动中国纳米材料的研发与产业化。作为一家高科技企业,公司专注于新材料与半导体设备的研发、生产与销售,主要业务涵盖原子级纳米材料、质量选择团簇束流设备以及原子级先进技术服务,为科研、化工、能源、半导体和生物医药等行业提供创新解决方案。

  • 原子级纳米材料
    国际领先的制备技术,具备粒径微小、分布均匀、尺寸连续可调、产量大、种类丰富、无化学配体等特性。
  • 质量选择团簇束流设备
    该设备通过“气相凝聚+质量分选”的技术路径获得原子数精确的原子团簇束流,可以实现原子团簇表面沉积和材料制造。
  • 技术服务
    提供无损伤清洗、选择性刻蚀、原子级平坦化、超浅层离子注入等先进技术服务,以束流微加工技术突破微制造技术限制。
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